產(chǎn)品介紹

NIST SRM 1010a 顯微分辨率測(cè)試圖(標(biāo)準(zhǔn)品)旨在用于確定攝影行業(yè)中顯微系統(tǒng)的分辨能力。它旨在滿足 ISO 2 號(hào)測(cè)試圖表的一般要求，如 ISO 3334: 1989 [1] 中所述。此 SRM 由五個(gè)相同的圖表組成，帶有 26 個(gè)圖案，印在具有光澤表面的白色相紙上。每個(gè)圖表標(biāo)稱 90 毫米寬 x 113 毫米高。

測(cè)試圖表圖案描述：

圖案由白色背景上的黑色條組成，條的長度是其寬度的 24 倍，條和空格的寬度相等。圖案的空間頻率范圍為 1 個(gè)周期/mm 到 18 個(gè)周期/mm。每個(gè)圖案由兩組五根雙杠組成；兩組中的酒吧彼此垂直。與每個(gè)圖案相關(guān)的數(shù)字是該圖案上的周期數(shù)/毫米。

認(rèn)證到期：只要按照本證書中給出的說明存儲(chǔ)和處理 SRM，則本 SRM 的認(rèn)證被視為在規(guī)定的公差范圍內(nèi)是無限期的

NIST 測(cè)量技術(shù)：

所有NIST SRM 1010a 顯微分辨率測(cè)試圖(標(biāo)準(zhǔn)品)測(cè)試圖均由一個(gè)主負(fù)片制成。最初，該批次中 25% 的測(cè)試圖表分別通過測(cè)量顯微鏡和反射密度計(jì)進(jìn)行水平和垂直觀察測(cè)量的評(píng)估。 1998 年，隨機(jī)測(cè)量了五個(gè)從剩余庫存中選擇 SRM 單元。使用定制的空氣軸承支持的 X-Y 坐標(biāo)機(jī)，使用超高精度顯微鏡和激光干涉儀定位臺(tái)重新測(cè)量線寬、線長、空間寬度和相對(duì)密度。系統(tǒng)的 X-Y 坐標(biāo)精度大于 40 nm。還使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量顯微鏡和使用帶有校準(zhǔn)刻度的手動(dòng)模式的 X-Y 坐標(biāo)機(jī)檢查測(cè)量結(jié)果。

測(cè)量結(jié)果 相對(duì)于 ISO 3334: 1989 規(guī)格：

所有圖案的相對(duì)密度都超過了規(guī)定的 85 % 下限。四個(gè)完整周期的空間頻率誤差小于為所有模式規(guī)定的 3%。所有模式的行長度都在規(guī)定范圍內(nèi)。空間頻率 1.0 到 5.0 和 10通過 18，都在規(guī)定的公差范圍內(nèi)。對(duì)于 5.6 到 9.0 的空間頻率，公差最多超過 0.03，見表 1。鏡頭、照相材料的分辨能力、聚焦精度、振動(dòng)和光學(xué)圖像相對(duì)于照相材料的系統(tǒng)相對(duì)運(yùn)動(dòng)。系統(tǒng)的分辨能力（以周期/mm 為單位）是圖像中分辨出的圖案數(shù)量乘以縮小比的倒數(shù)。